Hier finden Sie alle Unterlagen und Informationen zur Veranstaltung "Halbleitertechnologie"
Termine:
| Vorlesung: | Mo, 09:00 - 10:45 |
BA 050 | ab 20.10.2025 |
| Übung: | Mo, 11:00 - 11:45 | BA 050 | ab 20.10.2025 |
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- Kurz vor Beginn der Veranstaltung werden alle angemeldeten Studierenden gesammelt in den Moodle-Kurs eingeschrieben.
Übersicht der Themen:
I. Halbleitergrundlagen (Prof. Schall-Giesecke)
- Werkstoffgrundlagen, Kristallografie
- Prozessgrundlagen
- (EUV) Lithograpie
II. Grundlagen für Bauelemente und Schaltungsentwurf (Prof. Schall-Giesecke)
- MOS-Grundlagen
- MOS-Transistor
- Integrierte Schaltungen
III. spezielle Halbleitermaterialien und -prozesse (Prof. Weimann)
- von SiGe über GaN bis InP: Eigenschaften und Anwendungen spezieller Halbleitersysteme
- Epitaxieverfahren MOVPE und MBE
- Elektronenstrahl- und Imprint-Lithografie
- Additive Prozesse: Lift-off und Galvanik
- Aufbautechnik: vom Wafer zum Chip zur Komponente
- III/V Bauelemente für Photonik, HF und Power
- begleitende Lehrperson: Stanislav Sonovic Winkler
- verantwortliche Lehrperson: Roman Burkard
- verantwortliche Lehrperson: Patrick Häuser
- verantwortliche Lehrperson: Lisa Liborius
- verantwortliche Lehrperson: Enes Mutlu
- verantwortliche Lehrperson: Anna Lena Schall-Giesecke
- verantwortliche Lehrperson: Nils Weimann
- verantwortliche Lehrperson: Hao Zhang
ePortfolio: Nein